新松公司獲科技進步獎
2008-12-27 11:51:00 來源：現代物流報 編輯：56885 關注度：摘要：... ...
本報訊 近日，沈陽新松機器人自動化股份有限公司 （以下簡稱 “新松公司”）連獲沈陽市科技進步一等獎、沈陽市五一勞動獎狀和沈陽市十大科研成果轉化獎等表彰。沈陽市科技振興獎和沈陽市科技進步獎，是沈陽市政府設立的兩個最高科技獎項。新松公司自主研發的潔凈機器人榮獲了沈陽市科技進步一等獎。由沈陽市總工會、市經委、市科技局、市人事局、市精神文明辦公室等9家單位舉辦的評比活動中，新松公司榮獲沈陽市五一勞動獎狀，以及沈陽市十大科研成果轉化獎。
為打破國外的技術壟斷，提高我國先進制造業的技術水平，新松公司于2002年立項開發了潔凈機器人。經過工程技術人員幾年的努力，攻克了高速、高精度和高可靠性的控制技術和潔凈環境下的運動件潤滑技術及通過機械手對晶圓盒內晶圓狀態檢測技術等多項技術難題。在這些技術的積累下，設計開發的潔凈鍍膜機械手應用于我國第一條激光打印機感光光導鼓鍍膜生產線，取得顯著的經濟效益和社會效益。
大氣機器人 （由于是在超凈間內使用因此又稱潔凈機器人）是在大氣環境下用于半導體加工行業在超凈間里負責不同制成間物料搬運的自動化設備，具有運動速度快、定位 （重復定位）精度高、結構緊湊、安全可靠、安裝和維修方便等特點，可廣泛應用于刻屬機、離子注入機和PECVD等IC裝備中硅片的傳輸，是IC裝備中普遍采用的高精度、高可靠性的自動化裝備。 截止到目前，新松公司開發的用于半導體行業的潔凈機器人取得突破性進展，預料其會在市場中取得優良的表現。（辛永名）
