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晶圓廠“綠色化”需要供應(yīng)鏈的緊密合作

2008-3-25 11:55:00 來(lái)源:物流天下 編輯:56885 關(guān)注度:
摘要:... ...
  
  在1月31日舉行的SEMICONKorea的EHSForum(環(huán)境、健康與安全論壇)上,來(lái)自SamsungElectronics、HynixSemiconductor、TI、AppliedMaterials、TEL等廠商的演講者紛紛就節(jié)能減排戰(zhàn)略、機(jī)會(huì)以及挑戰(zhàn)等議題發(fā)表了自己獨(dú)到的見(jiàn)解,并指出顯著降低晶圓廠能耗以及溫室氣體排放需要芯片制造商、設(shè)備供應(yīng)商以及子系統(tǒng)供應(yīng)商之間的緊密合作。
  三星的SangYoonJung介紹了三星在降低溫室氣體排放方面的企業(yè)使命以及韓國(guó)政府對(duì)抗氣候變化的承諾。溫室氣體排放物質(zhì)主要包括全氟化碳(perfluorocarbons)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)以及六氟化硫(SF6)——總稱(chēng)為全氟化合物(PFCs)。SangYoonJung先生表示,盡管當(dāng)前半導(dǎo)體制造業(yè)僅占韓國(guó)溫室氣體排放量的3%,但這一行業(yè)正在快速成長(zhǎng)。他強(qiáng)調(diào)了韓國(guó)政府的政策與目標(biāo),還深入總結(jié)了三星的PFC減排戰(zhàn)略,包括使用替代氣體、廢氣處理計(jì)劃(PFC轉(zhuǎn)換或降解)以及工藝優(yōu)化。世界半導(dǎo)體委員會(huì)(WorldSeminconductorCouncil)已承諾在2010年前將PFC排放量降低至其1995年基準(zhǔn)線的90%的水平。三星自2007年起已成功替換其80%的PFC氣體,并改進(jìn)消除效率至90%以上。
  三星當(dāng)前正在實(shí)施一項(xiàng)“綠色設(shè)計(jì)”計(jì)劃,該計(jì)劃旨在通過(guò)廢棄熱能回收、設(shè)施改進(jìn)和采用高能效設(shè)備,使公司新的晶圓廠能源使用量降低30%。SangYoonJung強(qiáng)調(diào)了供應(yīng)鏈合作的必要性,并敦促設(shè)備制造商在提高能效和減低PFC排放方面做出更多努力。
  海力士半導(dǎo)體的SeoulJongKo介紹了公司的清潔發(fā)展機(jī)制(CDM)計(jì)劃,該計(jì)劃在世界同類(lèi)項(xiàng)目中尚屬首例。CDM是《東京議定書(shū)》中旨在幫助工業(yè)化國(guó)家達(dá)到其溫室氣體減排目標(biāo)的一項(xiàng)機(jī)制。該機(jī)制允許擁有溫室氣體減排目標(biāo)的國(guó)家的公共或私人實(shí)體在發(fā)展中國(guó)家投資溫室氣體減排項(xiàng)目,這些項(xiàng)目產(chǎn)生的溫室氣體減排量(即“經(jīng)核準(zhǔn)的減排量”,CER)可以作為前者履行其所承諾的限排或減排量,或出售給其它感興趣的團(tuán)體。
  來(lái)自TEL的ShigeitoIbuka全面介紹了TEL的環(huán)境項(xiàng)目。這些項(xiàng)目已得到了日經(jīng)環(huán)境管理調(diào)查(NikkeiEnvironmentalManagementSurvey)等的廣泛認(rèn)可。TEL的節(jié)能行動(dòng)已將每晶圓面積的能源使用量降低至僅2000年水平的35%。
  來(lái)自CleanSystemsKorea的SangJunLee亦指出了知識(shí)產(chǎn)權(quán)因素對(duì)協(xié)調(diào)工藝、設(shè)備和廢氣處理系統(tǒng)以提高能效帶來(lái)的困難。他建議成立一個(gè)研究團(tuán)體或工作委員會(huì)來(lái)探尋在不損害專(zhuān)利訴求的前提下優(yōu)化能效的方法。
  AppliedMaterials公司副總裁NormArmour介紹了公司廣泛開(kāi)展的可持續(xù)發(fā)展項(xiàng)目,并概括了高科技在全球氣候變化方面所扮演的重要角色。該公司在光伏、燃料電池、固態(tài)照明等可再生能源領(lǐng)域的業(yè)務(wù)獲得了快速成長(zhǎng),此外還創(chuàng)立了一套自我發(fā)展方法——DesignforEnvironment(DfE),并將其應(yīng)用于公司所有產(chǎn)品的整個(gè)產(chǎn)品生命周期。DfE包括在籌劃、設(shè)計(jì)和預(yù)算方面為新產(chǎn)品和已有產(chǎn)品進(jìn)行能效設(shè)計(jì)和應(yīng)用、資源保護(hù)、回收等考慮。
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